一、超高精度結(jié)構(gòu)設(shè)計,適配精密工件
PVP系列以“微米級精度控制"為核心設(shè)計理念,吸附面平面度誤差控制在2~4μm(常規(guī)款),高精度定制款可低至1μm以內(nèi),遠(yuǎn)超行業(yè)普通精密吸盤標(biāo)準(zhǔn),能貼合晶圓、陶瓷基板、精密玻璃等超平整工件表面,避免因吸附面不平整導(dǎo)致的工件受力不均或損傷。平行度誤差嚴(yán)格控制在5~10~15μm(依型號而定),搭配精密加工的鋁合金底座,確保吸盤與安裝面的垂直度,有效防止吸附過程中工件出現(xiàn)微小偏移,適配高精度組裝與搬運場景。
采用“超薄柔性唇口+階梯式吸附腔"組合設(shè)計,唇口厚度僅0.2~0.3mm,選用超軟彈性材料(邵氏硬度30~40A),既能緊密貼合工件表面形成有效密封,又能避免對薄晶圓、薄膜等易損精密工件造成壓痕或劃傷。吸附腔采用分區(qū)導(dǎo)流結(jié)構(gòu),小型款內(nèi)置3~5組微型吸附孔,大尺寸款采用環(huán)形+多點式吸附布局,即使吸附超小尺寸(最小可至1mm)或多孔精密工件,也能實現(xiàn)均勻吸附,防止局部壓力過大導(dǎo)致工件變形。
二、精密級材質(zhì)組合,兼顧低損與高耐用性
核心吸附材料選用高純度三氟聚氯乙烯樹脂(PTFE)或食品級硅橡膠,具備極低的表面摩擦系數(shù)與高氣孔率(40±5%),既能實現(xiàn)穩(wěn)定吸附,又能減少與工件表面的摩擦損傷。吸盤底座采用高強(qiáng)度鋁合金經(jīng)CNC精密加工而成,表面經(jīng)陽極氧化處理,硬度達(dá)HV300以上,具備優(yōu)良的耐腐蝕與抗變形能力,長期使用后平面度誤差無明顯衰減。密封部件采用環(huán)氧樹脂密封膠,無揮發(fā)、無異味,符合半導(dǎo)體行業(yè)百級潔凈室標(biāo)準(zhǔn),避免污染精密工件。
表面處理聚焦精密場景核心需求,推出三大專項處理方案:一是SF超光滑處理,表面粗糙度Ra≤0.08μm,適配光學(xué)鏡片、拋光金屬件等超高精度工件,無吸附痕跡;二是ER防靜電處理,通過在材質(zhì)中摻入導(dǎo)電纖維,表面電阻控制在10^4~10^6Ω,可快速釋放靜電,防止靜電擊穿半導(dǎo)體芯片、電子元件;三是防反射黑色定制處理(PVP-B系列),采用含碳素纖維的PPS材質(zhì),無光線反射且具備導(dǎo)電性能,適配薄晶圓、精密檢查設(shè)備等場景,避免光線干擾檢測精度。
三、吸附性能精準(zhǔn)可控,適配精密作業(yè)需求
真空通道采用微型化、流線型設(shè)計,內(nèi)置高精度節(jié)流閥,真空響應(yīng)速度較常規(guī)精密吸盤提升20%以上,可實現(xiàn)0.2秒內(nèi)建立穩(wěn)定負(fù)壓,適配高速精密組裝生產(chǎn)線。吸附力調(diào)節(jié)精度達(dá)0.05N,通過搭配CKD VSRL系列精密真空發(fā)生器,可實現(xiàn)0.05~50N的寬范圍精準(zhǔn)調(diào)節(jié),針對微型電子元件(如0402規(guī)格貼片電阻)可實現(xiàn)低至0.05N的輕柔吸附,避免損傷工件;針對中型精密部件(如小型陶瓷基板)可穩(wěn)定提供50N吸附力,無脫落風(fēng)險。
具備優(yōu)異的吸附穩(wěn)定性,在真空度出現(xiàn)±5kPa波動時,吸附力波動幅度≤3%,通過唇口的彈性形變自適應(yīng)補(bǔ)償壓力變化,保障精密搬運過程平穩(wěn)。泄漏量控制在極低水平,常規(guī)款泄漏量≤0.1mL/min(ANR),高精度款≤0.05mL/min(ANR),可減少真空源能耗,同時避免因泄漏導(dǎo)致的吸附失效。部分型號集成1.0μm高精度前置過濾功能,可過濾壓縮空氣中的超微小雜質(zhì),防止雜質(zhì)進(jìn)入吸附腔劃傷工件或堵塞微型氣道。
針對易損精密工件,采用“軟接觸+低壓力"雙重保護(hù)設(shè)計。唇口邊緣做圓弧過渡處理,無鋒利邊角,避免劃傷工件邊緣;吸附壓力默認(rèn)設(shè)置為低壓力區(qū)間(0.02~0.05MPa),搭配壓力監(jiān)測裝置可實時反饋吸附壓力,防止超壓損傷工件。同時,支持“分段吸附"模式,先以低壓力貼合工件,再逐步提升至設(shè)定吸附力,適配薄膜、薄紙等極易變形的精密工件。
四、精密防護(hù),保障作業(yè)可靠性
搭載微型化防墜落閥,體積較常規(guī)防墜落閥縮小30%,不影響精密設(shè)備的安裝空間,當(dāng)真空回路意外斷裂時,可在0.08秒內(nèi)自動機(jī)械鎖止,吸附力保持率≥90%,防止精密工件墜落損壞。該防墜落閥采用無油設(shè)計,避免油污污染潔凈環(huán)境,適配半導(dǎo)體、醫(yī)藥等高精度行業(yè)。
配備精密柔性支架,可實現(xiàn)±15°的微擺動調(diào)節(jié)與2~3mm的軸向緩沖,既能適應(yīng)工件表面的微小傾斜(傾斜角≤3°),又能吸收搬運過程中的高頻微小振動,減少工件與吸盤之間的應(yīng)力損傷。支架采用絕緣材質(zhì)包裹,具備抗電磁干擾能力,可在精密電子設(shè)備組裝車間、雷達(dá)檢測設(shè)備周邊穩(wěn)定工作,避免電磁信號影響吸附控制精度。
核心部件采用低揮發(fā)、低粉塵材質(zhì),且裝配過程在千級潔凈車間完成,經(jīng)檢測單次吸附-釋放循環(huán)的發(fā)塵量≤0.3μg,符合半導(dǎo)體行業(yè)百級潔凈室標(biāo)準(zhǔn),可安全用于芯片、液晶面板等超高精度工件的搬運。全系列具備優(yōu)良的耐腐蝕性,可在含輕微化學(xué)氣體的環(huán)境(如電子元件清洗車間)長期工作,材質(zhì)不會發(fā)生老化、變形,使用壽命可達(dá)15萬次以上,遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。
五、安裝適配精準(zhǔn)靈活,降低精密設(shè)備集成成本
采用“12+8+10"精密配置組合,提供12種微型支架、8種精細(xì)配管方式、10種微小行程規(guī)格,可精準(zhǔn)適配不同型號的精密機(jī)械手、小型自動化設(shè)備。支架涵蓋微型固定型、精密擺動型、微調(diào)型等,支持0.1mm級的安裝角度調(diào)節(jié);配管支持微型快插式、側(cè)連式等,接口直徑最小可至φ2,適配狹小安裝空間;行程調(diào)節(jié)范圍為2~20mm,滿足精密設(shè)備的微小行程需求。
安裝方式聚焦精密設(shè)備需求,支持螺栓精密固定與微型快插連接,快插接口采用卡扣式設(shè)計,拆裝無需工具且重復(fù)定位精度達(dá)±0.02mm,大幅縮短精密設(shè)備的調(diào)試時間。吸盤本體預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)化微型安裝孔位,孔位公差≤±0.01mm,可與精密機(jī)械手末端執(zhí)行機(jī)構(gòu)無縫對接,無需額外定制轉(zhuǎn)接件。部分微型型號采用磁吸式底座,可臨時吸附在金屬精密設(shè)備表面,適用于多工位精密檢測場景的臨時作業(yè)。
兼容性經(jīng)過精密場景專項優(yōu)化,可與CKD全系列精密真空設(shè)備適配,包括VSRL系列微型真空發(fā)生器、VSFB系列精密真空過濾器、VSH系列高精度真空壓力開關(guān)等,形成完整的精密真空吸附系統(tǒng),減少不同品牌部件搭配導(dǎo)致的兼容性問題與精度損失。接口規(guī)格符合國際精密氣動標(biāo)準(zhǔn),可兼容SMC、FESTO等品牌的精密真空設(shè)備,提升精密設(shè)備升級與改造的靈活性。
六、專項定制能力強(qiáng),拓展精密場景應(yīng)用邊界
針對不同精密行業(yè)推出專屬定制方案:半導(dǎo)體行業(yè)專屬款,采用全不銹鋼材質(zhì)+超光滑處理,無磁、無揮發(fā),適配晶圓搬運與芯片組裝;醫(yī)療行業(yè)專屬款,采用食品級硅橡膠材質(zhì),可耐受高溫蒸汽消毒(≤134℃),適配精密醫(yī)療部件(如微型注射器、手術(shù)器械)的搬運;光學(xué)行業(yè)專屬款,采用防反射、低摩擦材質(zhì),適配光學(xué)鏡片、鏡頭組件的精密組裝,無劃痕、無指紋殘留。
支持全維度個性化定制,規(guī)格上可定制直徑1~50mm的非標(biāo)準(zhǔn)尺寸,形狀涵蓋圓形、方形、異形(如弧形、不規(guī)則形),適配特殊形狀的精密工件;功能上可定制多分區(qū)吸附、真空檢測集成、防靜電增強(qiáng)等專屬功能,例如為多芯片組裝場景定制多工位同步吸附款,為精密檢測場景定制集成壓力反饋的智能款;表面處理上可根據(jù)需求定制特殊涂層(如AlSiN耐磨涂層、防指紋涂層),進(jìn)一步拓展在精密場景的應(yīng)用范圍。