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日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ELCR ELCR 系列是 CKD 面向精密制造、電子半導(dǎo)體及自動(dòng)化檢測(cè)領(lǐng)域推出的滑塊型電動(dòng)執(zhí)行器，以 “緊湊結(jié)構(gòu) + 高精度控制 + 長(zhǎng)壽命運(yùn)行” 為核心設(shè)計(jì)目標(biāo)。其采用步進(jìn)電機(jī)直驅(qū)滾珠絲杠與一體化線性導(dǎo)軌組合架構(gòu)，通過(guò)模塊化集成實(shí)現(xiàn) “電機(jī) - 絲杠 - 導(dǎo)軌 - 滑塊” 的協(xié)同傳動(dòng)，適配對(duì)空間、精度、穩(wěn)定性有嚴(yán)苛要求的自動(dòng)化場(chǎng)景。

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ESD2 ESD2 系列是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)型直線執(zhí)行器，采用帶滾珠保持器的線性導(dǎo)軌與帶潤(rùn)滑輔助裝置的滾珠絲杠組合，實(shí)現(xiàn)高精度、高剛性與長(zhǎng)期免維護(hù)特性。其核心設(shè)計(jì)聚焦以下維度

日本CKD半導(dǎo)體電動(dòng)執(zhí)行器滑塊型ERL2 ERL2 系列是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)型直線執(zhí)行器，采用帶滾珠保持器的線性導(dǎo)軌與帶潤(rùn)滑輔助裝置的滾珠絲杠組合，實(shí)現(xiàn)高精度、高剛性與長(zhǎng)期免維護(hù)特性。其核心設(shè)計(jì)聚焦以下維度

日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達(dá)高精密型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅(qū)馬達(dá)（AX7000 系列）是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無(wú)齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間隙與磨損，實(shí)現(xiàn)177;10 秒重復(fù)定位精度與納米級(jí)分辨率**。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 小型化：外徑 φ80mm、高度 47mm（1.2N?m 機(jī)型），重量?jī)H 1.2kg。

日本CKD半導(dǎo)體通用型(ABSODEX)AX4000 ABSODEX 小型直驅(qū)馬達(dá)（AX8000M 系列）是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無(wú)齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間隙與磨損，實(shí)現(xiàn)**&177;10 秒重復(fù)定位精度與納米級(jí)分辨率**。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 小型化：外徑 φ80mm、高度 47mm（1.2N?m 機(jī)型），重量?jī)H 1.2kg。

日本CKD半導(dǎo)體通用型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驅(qū)馬達(dá)（AX6000M 系列）是 CKD 專(zhuān)為半導(dǎo)體制造場(chǎng)景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無(wú)齒輪直驅(qū)技術(shù)，消除傳統(tǒng)傳動(dòng)鏈的間隙與磨損，實(shí)現(xiàn)**±10 秒重復(fù)定位精度與納米級(jí)分辨率**。其核心優(yōu)勢(shì)包括： 小型化：外徑 φ80mm、高度 47mm（1.2N?m 機(jī)型），重量?jī)H 1.2kg，可直接集成于晶圓檢測(cè)探頭。