日本CKD喜開理延遲真空電磁閥HVL12
接口選擇：需根據(jù)管路尺寸匹配 Rc 螺紋或雙卡套接頭，例如半導(dǎo)體設(shè)備常用 NW10.16 真空夾緊接頭，可對(duì)應(yīng)選型代碼為 “7S10" 的型號(hào)。
電壓匹配：工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備優(yōu)先選擇 DC24V 型號(hào)，傳統(tǒng)動(dòng)力系統(tǒng)可適配 AC100V/200V 規(guī)格，選型時(shí)需確認(rèn)設(shè)備電源波動(dòng)范圍是否在 ±10% 以內(nèi)。

產(chǎn)品型號(hào)：HVL12-4S6-5-AC100V

更新時(shí)間：2025-10-09

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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日本CKD喜開理延遲真空電磁閥HVL12

一、核心參數(shù)

HVL12 系列采用直動(dòng)式結(jié)構(gòu)與特殊密封技術(shù)，在真空保持與延遲控制方面表現(xiàn)突出，關(guān)鍵參數(shù)如下表所示：

參數(shù)類別	具體規(guī)格	說明來源
基礎(chǔ)參數(shù)	節(jié)流孔徑：1.2mm配管口徑：Rc1/8、1/4″雙卡套接頭、NW10.16 真空夾緊接頭Cv 值：0.05
真空性能	使用壓力范圍：1.3×10??～2.0×10?Pa（abs）閥座泄漏量：≤1.3×10??Pa?m3/s（He）外部泄漏量：≤1.3×10??Pa?m3/s（He）
壓力特性	最高工作壓力差：0.2MPa耐壓力：0.5MPa
電氣參數(shù)	額定電壓：DC24V、AC100V、AC200V電壓波動(dòng)范圍：額定電壓 ±10%功耗：4W延遲時(shí)間：AC≤8s、DC≤10s（誤差 ±35%）
環(huán)境適配	流體溫度：5～50℃環(huán)境溫度：0～50℃適用流體：干燥空氣、氮?dú)?/td>
物理參數(shù)	安裝方式：自由安裝重量：AC 型 0.5kg、DC 型 0.2kg（Rc1/8 接口）動(dòng)作頻率：≤0.5 次 / 分鐘

注：流體需保持干燥，否則可能顯著縮短產(chǎn)品耐久性；DC 型具有極性，需按紅正黑負(fù)接線。

二、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 高真空密封，保障系統(tǒng)潔凈

采用特殊密封材質(zhì)與閥座結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，泄漏量控制在 1.3×10??Pa?m3/s 以下，可滿足高真空系統(tǒng)的嚴(yán)苛要求。在半導(dǎo)體晶圓制造等場(chǎng)景中，能有效防止外部雜質(zhì)侵入真空腔室，避免產(chǎn)品污染導(dǎo)致的良率下降。同時(shí)，斷電后可維持真空狀態(tài)，配合延遲功能實(shí)現(xiàn)腔室保護(hù)。

2. 精準(zhǔn)延遲控制，規(guī)避停機(jī)電污染

內(nèi)置斷電延遲模塊，可根據(jù)電壓類型設(shè)定 8 秒（AC）或 10 秒（DC）的延遲時(shí)間，精準(zhǔn)控制真空腔室的大氣開放時(shí)序。在真空鍍膜設(shè)備中，能確保真空泵與腔室之間的管路先泄壓，再開放大氣，避免停電時(shí)油分倒灌污染腔室，降低設(shè)備維護(hù)成本。

3. 緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適配狹小安裝空間

采用薄型線圈與一體化閥體設(shè)計(jì)，重量最輕僅 0.2kg，且支持自由安裝方式，可靈活嵌入真空鍍膜機(jī)、電子束加工機(jī)等空間受限的設(shè)備內(nèi)部。搭配多種標(biāo)準(zhǔn)化真空接頭，能快速與現(xiàn)有管路對(duì)接，減少安裝工時(shí)。

4. 寬域參數(shù)適配，滿足多元場(chǎng)景需求

覆蓋從高真空（1.3×10??Pa）到常壓（2.0×10?Pa）的全壓力范圍，適配空氣、氮?dú)獾榷喾N惰性氣體介質(zhì)。提供 DC24V、AC200V 等常見電壓選項(xiàng)，可直接匹配工業(yè)設(shè)備的電源系統(tǒng)，無需額外配置變壓器。

三、型號(hào)組成解析

CKD HVL12 系列型號(hào)采用模塊化編碼規(guī)則，通過后綴組合明確產(chǎn)品規(guī)格，以典型型號(hào)HVL12-4S6-5-AC200V為例，各部分含義如下：

型號(hào)分段	代碼含義	可選規(guī)格示例
HVL12	系列代號(hào)：HVL 表示延遲真空電磁閥，12 為基礎(chǔ)型號(hào)標(biāo)識(shí)	固定為 HVL12
4S6	結(jié)構(gòu)參數(shù)：前兩位表示節(jié)流孔徑相關(guān)規(guī)格，后一位為配管接口類型	4S6（Rc1/8 接口）、5S8（1/4″雙卡套）
5	安裝與功能選項(xiàng)：代表標(biāo)準(zhǔn)安裝方式及基礎(chǔ)功能配置	5（標(biāo)準(zhǔn)型）、6（帶手動(dòng)應(yīng)急機(jī)構(gòu)）
AC200V	電氣規(guī)格：明確額定電壓類型與數(shù)值	DC24V、AC100V、AC200V

型號(hào)選型說明

接口選擇：需根據(jù)管路尺寸匹配 Rc 螺紋或雙卡套接頭，例如半導(dǎo)體設(shè)備常用 NW10.16 真空夾緊接頭，可對(duì)應(yīng)選型代碼為 “7S10" 的型號(hào)。
電壓匹配：工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備優(yōu)先選擇 DC24V 型號(hào)，傳統(tǒng)動(dòng)力系統(tǒng)可適配 AC100V/200V 規(guī)格，選型時(shí)需確認(rèn)設(shè)備電源波動(dòng)范圍是否在 ±10% 以內(nèi)。
功能擴(kuò)展：部分特殊型號(hào)帶手動(dòng)應(yīng)急閥桿，在斷電且無需延遲功能時(shí)可手動(dòng)操作，對(duì)應(yīng)代碼為 “6"，適合對(duì)設(shè)備可用性要求場(chǎng)景。

上一個(gè)：HVB 12 Series日本CKD高真空用電磁閥HVB